（1）不确定度。由于测量误差的存在而使测量结果不能确定的程度，即表征测量结果分散性的极限。一般以测量“标准偏差”σ 表征。其置信区间（测量误差极限）取±2σ 或±3σ，其概率分别为95.45%和99.73%。
（2）****实体状态（简称MMC）。孔或轴具有允许的材料量最多时的状态。
（3）最小实体状态（简称LMC）。孔或轴具有允许的材料量最少时的状态。
（3）修正值。为了消除或减少系统误差，用代数法加到未修正测量结果上的数值。其大小与示值误差的绝对值相等，符号相反。
（4）分辨率。指测量器具所能显示的最末一位数所代表的量值。
（5）灵敏度。指测量器具对测量变化的响应变化能力。
（6）示值范围。指测量器具所能显示（或指示）的被测量最小值到****值的范围。
（7）测量范围。指测量器具所能测出的最小值到****值的范围。有些计量器具的测量范围和示值范围是相同的。
（8）被测量。指测量对象，包括被测零件的长度、角度、几何形状、相互位置以及表面粗糙度等几何量。
（9）测量。一般指确定被测对象的量值而进行的实验过程。即将一个被测量与一个作为测量单位的标准量进行比较，确定测量对象是标准单位量的若干倍或几分之几。
（10）测量重复性。指在相同的测量条件下，对同一被测“量”进行多次测量时，各测量结果之间的一致性。通常以测量重复性的极限值（正负偏差）来表示。
（11）检验与测量的区别。“检验”比“测量”的含义更广泛一些。对于零件几何量的检验，通常只判断被测零件是否在合格范围内确定其是否合格，而不一定要确定其具体的测量值。对于金属内部质量的检验、表面裂纹的检验等，则不能用“测量”这一概念。